还原炉底盘有哪些特点？

还原炉底盘具有以下特点：

1. 结构复杂且精细：包括底盘主体，主体内又分相对间隔设置的第一底盘、第二底盘和第三底盘，形成了冷却腔室和进气腔室。

2. 进气与导流设计独特：第三底盘设有进气孔向进气腔室通气，冷却腔室内设置多个同心间隔的导流环板，形成导流通道，使气体均匀进入还原炉。

3. 环隙与挡板设置：第一底盘和第二底盘分别形成多个环隙，导流环板一端与环隙连通，其位于还原炉内的一端端部设有挡板，能遮挡导流通道部分。

4. 功能多样的部件：导流环板一端还设置有换向环板、延长环板等，电极外设置套筒，底盘上有排气管、冷却水循环管等。

5. 多种分布方式：如进气口组、还原尾气出口组、电极基座组沿盘体的径向间隔开设置，且有交替设置的情况。

6. 数量与间距设置：进气孔、电极基座、进气口、还原尾气出口等数量有具体设定，电极基座组的相邻电极基座在底盘周向上有特定间距。

7. 组合与分层设计：有的底盘包括第一盘体和第二盘体，两者限定出冷却腔。

8. 提高生产效果：能使原料气体更均匀地进入还原炉，提高流场和温度分布均匀性，有利于硅棒沉积，改善硅棒表面质量，避免倒棒、硅棒偏心等现象。

（图/文/摄：太平洋汽车 整理于互联网）